Проведено модельное исследование влияния температуры газа на стационарный состав плазмы и кинетику плазмохимических процессов в хлористом водороде. Установлено, что в областях высоких (~10^5 Па) и низких (~10 Па) давлений варьирование температуры вызывает качественно однотипные изменения концентраций молекулярных компонентов плазмы, но оказывает различное влияние на концентрации атомов. Причиной последнего эффекта являются различные вклады объемных и гетерогенных процессов в суммарную скорость гибели атомов.