РАСЧЕТ ПЛОТНОСТИ ЭЛЕКТРОННЫХ СОСТОЯНИЙ НАНОРАЗМЕРНЫХ ОБЛАСТЕЙ РАЗУПОРЯДОЧЕНИЯ, СОЗДАННЫХ ПРОТОНАМИ В КРЕМНИИ

Построена модель и рассчитаны численно параметры областей разупорядочения, образующихся в кремнии под действием протонов. Получены зависимости среднего радиуса и числа неаннигилировавших вакансий в области разупорядочения от энергии протонов. Расчеты показывают, что области разупорядочения являются наномасштабными объектами со средним радиусом менее 100 нм. Рассчитано распределение плотности электронных состояний в запрещенной зоне кремния для различных значений параметров областей разупорядочения. Показано, что основной вклад дают энергетические уровни вакансионного происхождения, хаотически распределенные в пределах области разупорядочения.

• Богатов Н.М.
• Григорьян Л.Р.
• Коваленко М.С.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Естественные науки
• Физико-математические науки
• Науки о человеке
• Сельское хозяйство. Лесоводство