РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА В ПЛАЗМЕГолованов А.В.,Бланк В.Д.,ВОЛКОВА П.,Бормашов В.С.,Буга С.Г.,Тарелкин С.А.
|
|
ФОРМИРОВАНИЕ РЕЛЬЕФНЫХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯГолованов А.В.,Бланк В.Д.,ВОЛКОВА П.,Бормашов В.С.,Буга С.Г.,Тарелкин С.А.
|
|
ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗАГолованов А.В.,Бланк В.Д.,ВОЛКОВА П.,Бормашов В.С.,Буга С.Г.,Тарелкин С.А.
|
|
ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ AlN, НАНЕСЕННОЙ НА ПОДЛОЖКУ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗАГолованов А.В.,ВОЛКОВА П.,Бормашов В.С.,Гордеев Г.И.,Квашнин Г.М.,Сорокин Б.П.,Теличко А.В.
|