РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Файнер Н.И.
Результатов найдено: 3
|
ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙФайнер Н.И.,Косяков В.И.
Журнал структурной химии, 2015, 1, С. 171-182
|
|
|
СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПЛЕНКАХ SiC,N,Hz, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНАФайнер Н.И.,Надолинный В.А.,Кожемяченко СИ.,Румянцев Ю.М.,Шаяпов В.Р.
Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 49-54
|
|
|
ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)Файнер Н.И.,Маурия К.К.,Пушкарёв Р.В.
Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 156-158
|