Выбор оптимальных режимов измерений в сканирующей электропроводящей микроскопииШевяков В.И.,Лемешко С.В.,Сагунова И.В.,Чаплыгин Ю.А.
|
|
Влияние состояния поверхности затравочного слоя меди на однородность электрохимического заполнения медью канавок с субмикронными размерамиШевяков В.И.,Белов А.Н.,Плаксин В.Г.
|