ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ТОКОПРОХОЖДЕНИЯ В СТРУКТУРАХ Si–SiO2 МЕТОДОМ ЗОНДА КЕЛЬВИНА
рассмотрено применение метода зонда Кельвина для определения параметров токопрохождения в структурах Si-SiO2
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: