СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕДИ И ЖЕЛЕЗА НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ

Изучено формирование пленок меди на кремниевой подложке и осуществлено сопоставление их характеристик с таковыми пленок железа. Показано, что при напылении медь кристаллизуется в виде смеси двух кристаллографически различных модификаций с объемноцентрированной кубической ячейкой. В ходе фотонного отжига осуществляется полная трансформация решетки одной из модификаций в другую с уменьшением межплоскостного расстояния. Определены кристаллографические характеристики модификаций пленок меди до и после отжига. Показано, что зерна-кристаллиты в структуре пленки после отжига объединяются в крупные образования на участках, отвечающих исходной кристаллографической модификации до отжига.

• Максименко А.А.
• Ховив А.М.
• Салтыков С.Н.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Естественные науки
• Науки о человеке