РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Найти!
Инженерный журнал: наука и инновации/2013/№ 6/
В наличии за
50 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом

Анализируются перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности с помощью ионно-лучевой обработки, необходимой для изготовления элементов оптических систем с шероховатостью поверхности порядка Ra 1…4 нм, например, зеркал лазерных гироскопов, линз и зеркал телескопов и т. п. Приводятся результаты теоретических исследований изменения коэффициента распыления материалов при ионно-лучевой обработке в зависимости от профиля микронеровностей поверхности и угла падения ионов. Описана методика проведения экспериментальных исследований с учетом полученных теоретических зависимостей, а также с различными энергетическими характеристиками пучка ионов и при различной длительности обработки. Представлены результаты исследования рельефа поверхности ситалловой подложки с помощью атомно-силового микроскопа Solver Next до ионно-лучевой обработки и после воздействия на нее потока ионов с энергиями 1 и 3 кэВ, направляемого под различными углами. Показан пример представления результатов измерения микрорельефа поверхности, полученных с помощью зондовых микроскопов, в относительных единицах после компьютерной обработки сканов.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 621.3.049.77 Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом Е.В. Одинокова, Ю.В. Панфилов, П.И. Юрченко МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Анализируются перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности с помощью ионно-лучевой обработки, необходимой для изготовления элементов оптических систем с шероховатостью поверхности порядка Ra 1… <...> 4 нм, например, зеркал лазерных гироскопов, линз и зеркал телескопов и т. п. <...> Приводятся результаты теоретических исследований изменения коэффициента распыления материалов при ионно-лучевой обработке в зависимости от профиля микронеровностей поверхности и угла падения ионов. <...> Представлены результаты исследования рельефа поверхности ситалловой подложки с помощью атомно-силового микроскопа Solver Next до ионно-лучевой обработки и после воздействия на нее потока ионов с энергиями 1 и 3 кэВ, направляемого под различными углами. <...> Показан пример представления результатов измерения микрорельефа поверхности, полученных с помощью зондовых микроскопов, в относительных единицах после компьютерной обработки сканов. <...> Из литературы известно [1], что одним из самых прецизионных методов обработки поверхностей является ионно-лучевое травление, которое используется для уменьшения шероховатости поверхности различных деталей, например, элементов оптических систем: зеркал, линз, призм и т. п. <...> Известен термин «ионное полирование», определяющий физическое распыление вершин микронеровностей поверхности высокоэнергетичными ионами инертных или/и химически активных газов. <...> Е.В. Одинокова, Ю.В. Панфилов, П.И. Юрченко В большинстве опубликованных работ, посвященных ионному полированию, исследуется зависимость параметров шероховатости обработанной ионным пучком поверхности от угла падения ионов. <...> Однако в этих работах, как правило, не учитывается форма микронеровностей, зависящая от вида и режимов механической или химико-механической <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

  • Похожие документы из РУАЭСТ
  • |
  • Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники:

© НЦР Руконт 2014