Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя

вакуумная дуга катодное пятно вакуумнодуговой испаритель выработка ресурс коэффициент использования материала

Нетрадиционный критерий оценки системы подрессоривания быстроходной гусеничной машины, Определение спектрально-энергетических порогов лазерной абляции под действием ультракоротких лазерных импульсов в вакууме, ...

УДК 67.05 Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Проведен анализ профиля выработки катода в торцевом дуговом испарителе с арочным магнитным полем и управляемой траекторией движения катодного пятна. <...> Профиль выработки катода при фиксированном положении траектории катодного пятна аппроксимировался кривой Гаусса. <...> Найден оптимальный шаг смещения катодного пятна по радиусу: он соответствует 1/3 ширины зоны выработки при фиксированном положении траектории катодного пятна. <...> При этом неравномерность выработки катода составляет менее 3 %. <...> Современные технологии нанесения вакуумнодуговых покрытий предполагают использование дуговых испарителей с управляемым движением катодного пятна в арочном магнитном поле [1–3]. <...> При этом увеличение индукции магнитного поля позволяет значительно снизить массовую долю и размер капель в продуктах эрозии катода и улучшить характеристики покрытия [4, 5]. <...> Однако при увеличении индукции арочного магнитного поля уменьшается зона выработки, превращаясь в узкую канавку [6]. <...> Это приводит к существенной неравномерности выработки материала катода и снижению коэффициента использования материала катода. <...> 1) изменять кривизну линий арочного магнитного поля (и, следовательно, форму траектории движения катодного пятна); <...> Сложность заключается в выборе оптимального закона перемещения траектории катодного пятна по поверхности катода и в подборе оптимального шага смещения катодного пятна по радиусу. <...> Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг В работе [6] изучалось влияние значения индукции арочного магнитного поля на ширину и форму выработки катода дугового испарителя. <...> Дуговой испаритель был оснащен электромагнитной системой, состоящей из двух катушек, которая создает на поверхности катода арочное магнитное <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт