Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1

Жидкофазный магнетрон моделирование магнитного поля магнитная система ионное распыление.

О возможности применения измерительного контроля адгезивных соединений электрорезистивными, электроемкостными и акустическим методами, Моделирование процессов пробивания композитных текстильных преград, ...

Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52… УДК 621.793.182 Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1 М.В. Макарова, М.А. Мартыненко, А.С. Бабурин, К.М. Моисеев МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрена смоделированная в программном комплексе SolidWorks магнитная система жидкофазного магнетрона НМСА-52, смонтированного и запущенного на установке МВТУ-11-1. <...> Ряд экспериментов по запуску магнетрона проведен с различными вариациями мишени и разными условиями горения разряда. <...> Определены лучшие режимы работы при запуске с тиглем и мишенью для жидкофазного распыления для новой магнитной системы. <...> Анализ полученных результатов подтвердил необходимость продолжения работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим с использованием блока увеличенной мощности. <...> Ключевые слова: жидкофазный магнетрон, моделирование магнитного поля, магнитная система, ионное распыление. <...> Один из способов нанесения тонких пленок — метод ионного распыления в магнетронных системах с жидкой мишенью. <...> Установлено, что для достижения стабильного режима работы магнетрона с жидкой мишенью необходимо использовать магниты с большей индукцией магнитного поля в магнитной системе [4, 5]. <...> Для реализации данного метода нанесения на вакуумной установке МВТУ-11-1 лабораторией кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. <...> Жидкофазный магнетрон НМСА-52: 1 — тигель; 2 — место под мишень; 3 — диэлектрические прокладки; 4 — изолятор; 5 — магниты; 6 — магнитовод Сравнительный анализ систем НМСА-50 и НМСА-52. <...> 2, было измерено магнитное поле системы НМСА-52 с помощью миллитесламетра, который измеряет только тангенциальную составляющую магнитной индукции магнитного поля (рис. <...> Согласно критерию Стьюдента, который используется для сравнения средних значений, следует, что магнитные поля обеих систем на высоте h = 7,75 мм сопоставимы или одинаковы с уровнем значимости 0,01. <...> Таким образом, магнитное поле магнитной <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт