РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Прикладная физика/2016/№ 2/
В наличии за
100 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Параметры радиационных процессов в плазме микроволнового резонансного разряда

В работе представлены результаты экспериментального исследования поведения спектральных и фотометрических характеристик излучения в оптическом диапазоне импульснопериодического микроволнового ЭЦР-разряда (2,45 ГГц, мощность до 200 Вт, давление плазмообразующего газа Ar от 110-4 до 110-1 Торр). В этих условиях в рабочем объеме создается плотная (ne = 11010ч41011 см-3) низкотемпературная (Те = 3ч5 эВ) плазма с высокой степенью ионизации (110-3ч510-5). Показано, что регистрируемое повышение концентрации электронов вблизи верхней границы указанного диапазона давлений при неизменном уровне подводимой мощности приводит к радикальному изменению типа и спектрального состава излучения, а также к пороговому характеру увеличения светового потока. Анализ зондовых и оптических измерений позволил выделить диапазон изменения рабочих условий, определяющих характер и параметры изучаемых радиационных процессов.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Прикладная физика, 2016, 2 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 533.9…15 Параметры радиационных процессов в плазме микроволнового резонансного разряда В. В. Андреев, И. А. Волдинер, М. А. Корнеева В работе представлены результаты экспериментального исследования поведения спектральных и фотометрических характеристик излучения в оптическом диапазоне импульснопериодического микроволнового ЭЦР-разряда (2,45 ГГц, мощность до 200 Вт, давление плазмообразующего газа Ar от 1 51 10-4 до 1 10-1 Торр). <...> Показано, что регистрируемое повышение концентрации электронов вблизи верхней границы указанного диапазона давлений при неизменном уровне подводимой мощности приводит к радикальному изменению типа и спектрального состава излучения, а также к пороговому характеру увеличения светового потока. <...> Анализ зондовых и оптических измерений позволил выделить диапазон изменения рабочих условий, определяющих характер и параметры изучаемых радиационных процессов. <...> Микроволновые резонансные разряды широко используется в различных вакуумноплазменных технологиях [1]. <...> Резонансное создание плазмы, удерживаемой внешним магнитным полем пробочной конфигурации, устраняет необходимость в применении сильных электрических полей и оказывает существенное влияние на уровень энергетических затрат, требуемых для Андреев Виктор Викторович, доцент. <...> E-mail: vvandreev@mail.ru; reewo@rambler.ru; korneevama@mail.ru Статья поступила в редакцию 14 марта 2016 г. Андреев В. В., Волдинер И. А., Корнеева М. А., 2016 достижения высокой степени ионизации. <...> Кроме того, разряды такого типа обладают возможностью легкого управления плазменными параметрами. <...> Целью данных исследований является изучение поведения спектральных и фотометрических характеристик излучения, генерируемого в аргоновой плазме, которая создается в условиях, близких к электронному циклотронному резонансу, причем в области давлений, примыкающих к верхней границе рабочего диапазона. <...> Экспериментальная установка <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: