Математическое моделирование влияния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла
Проведено исследование влияния концентрации примеси в рабочем слое и объеме подложки на ток стока КНИ полевого датчика Холла средствами приборно-технологического моделирования в пакете Synopsys Sentaurus. Выполнена настройка численной модели путем сопоставления передаточных ВАХ: расчетной и ранее экспериментально созданного и измеренного образца КНИ полевого датчика Холла. Показано, что при низких концентрациях в рабочем слое ток стока сильно зависит от потенциала верхнего затвора, а уровень легирования в объеме подложки влияет на ток стока лишь при работе прибора в режиме обеднения.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 621.3.087.92
Математическое моделирование влияния
концентрации примеси на величину тока стока КНИ
полевого датчика Холла <...> А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Mathematical Simulation of Doping Concentration Influence
on Drain Current Value of SOI Field-Effect Hall Sensor
A.V. <...> Petrunina
National Research University of Electronic Technology, Moscow
Проведено исследование влияния концентрации примеси в рабочем
слое и объеме подложки на ток стока КНИ полевого датчика Холла средствами
приборно-технологического моделирования в пакете Synopsys
Sentaurus. <...> Выполнена настройка численной модели путем сопоставления
передаточных ВАХ: расчетной и ранее экспериментально созданного и
измеренного образца КНИ полевого датчика Холла. <...> Показано, что при
низких концентрациях в рабочем слое ток стока сильно зависит от потенциала
верхнего затвора, а уровень легирования в объеме подложки влияет
на ток стока лишь при работе прибора в режиме обеднения. <...> Ключевые слова: КНИ полевой датчик Холла; Synopsys Sentaurus; концентрация
примеси; ток стока. <...> Полевой датчик Холла (ПДХ) на основе КНИ-структуры превосходит
классический датчик Холла по следующим критериям [1, 2]: может использоваться как
высокотемпературный (до 300 С) преобразователь магнитного поля; имеет высокую
устойчивость к воздействию радиации за счет использования КНИ-технологии; пороговая
магнитная чувствительность может резко возрастать (в десятки раз), соответственно,
и расширяется динамический диапазон магнитной чувствительности; работает при
А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина, 2015
Известия вузов. <...> А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина
низком значении рабочего тока КНИ ПДХ (при полностью открытом канале порядка
0,10,4 мА); может управляться постоянным током; отсутствуют «ключи» и, соответственно,
коммутационные помехи; возможна реализация максимальной пороговой чувствительности
путем повышения отношения сигнал/шум. <...> Однако дальнейшая оптимизация
их параметров невозможна без использования <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: