Математическое моделирование влияния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла

КНИ полевой датчик Холла; Synopsys Sentaurus; концентрация примеси; ток стока.

Возможности улучшения функциональных характеристик нитрида галлия при эпитаксии из газовой фазы, Энергетические характеристики распространения электромагнитных волн внутри зданий, ...

УДК 621.3.087.92 Математическое моделирование влияния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла <...> А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Mathematical Simulation of Doping Concentration Influence on Drain Current Value of SOI Field-Effect Hall Sensor A.V. <...> Petrunina National Research University of Electronic Technology, Moscow Проведено исследование влияния концентрации примеси в рабочем слое и объеме подложки на ток стока КНИ полевого датчика Холла средствами приборно-технологического моделирования в пакете Synopsys Sentaurus. <...> Выполнена настройка численной модели путем сопоставления передаточных ВАХ: расчетной и ранее экспериментально созданного и измеренного образца КНИ полевого датчика Холла. <...> Показано, что при низких концентрациях в рабочем слое ток стока сильно зависит от потенциала верхнего затвора, а уровень легирования в объеме подложки влияет на ток стока лишь при работе прибора в режиме обеднения. <...> Ключевые слова: КНИ полевой датчик Холла; Synopsys Sentaurus; концентрация примеси; ток стока. <...> Полевой датчик Холла (ПДХ) на основе КНИ-структуры превосходит классический датчик Холла по следующим критериям [1, 2]: может использоваться как высокотемпературный (до 300 С) преобразователь магнитного поля; имеет высокую устойчивость к воздействию радиации за счет использования КНИ-технологии; пороговая магнитная чувствительность может резко возрастать (в десятки раз), соответственно, и расширяется динамический диапазон магнитной чувствительности; работает при А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина, 2015 Известия вузов. <...> А.В. Козлов, М.А. Королёв, С.С. Петрунина низком значении рабочего тока КНИ ПДХ (при полностью открытом канале порядка 0,10,4 мА); может управляться постоянным током; отсутствуют «ключи» и, соответственно, коммутационные помехи; возможна реализация максимальной пороговой чувствительности путем повышения отношения сигнал/шум. <...> Однако дальнейшая оптимизация их параметров невозможна без использования <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт