Исследование температурного дрейфа и нелинейностей тензопреобразователей давления на основе керамики

температурный дрейф тензопреобразователи давления полупроводниковые чувствительные элементы кремний на сапфире выходные сигналы керамические преобразователи датчики давления

Классификация задач идентификационно-структурного анализа, Автоматизированная система аппроксимативного корреляционно-спектрального анализа в ортогональном базисе Бесселя, ...

В. М. Стучебников, А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА И НЕЛИНЕЙНОСТЕЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ КЕРАМИКИ Аннотация. <...> Рассмотрены тензопреобразователи давления на основе керамики и полупроводникового чувствительного элемента со структурой кремний на сапфире. <...> Проведены исследования нелинейности и вариации выходного сигнала, температурного дрейфа керамических преобразователей с использованием различных видов керамики. <...> Температурная погрешность керамических тензопреобразователей оказалась существенно ниже, чем у серийно выпускаемых преобразователей давления, а точности керамических и серийно выпускаемых тензопреобразователей сравнимы. <...> The pressure transducers on ceramic basis and semi-conductor sensing elements made of heteroepitaxial silicon-on-sapphire structures are considered. <...> The investigations of non-linearity, of the variation output signal and of the temperature dependence of the ceramic pressure transducers using different kind of ceramic basis are carried out. <...> Введение С 1960-х гг. интенсивно разрабатываются микроэлектронные датчики механических величин с тензорезисторной мостовой схемой, в которых в качестве чувствительных элементов используются полупроводники. <...> В России нашли широкое распространение интегральные тензорезисторные преобразователи давления (ТП) с полупроводниковыми чувствительными элементами (ПЧЭ) на основе структур кремний на сапфире (КНС) <...> Они успешно применяются в построении комплексов высокоточных, высокостабильных, надежных датчиков механических величин для систем контроля и управления разнообразными технологическими процессами во всех отраслях промышленности [3, 6], двигателестроении [7], для измерения давления криогенных [8] и высокотемпературных [9] сред и в других областях науки и техники. <...> Нагрузочная характеристика представляет собой зависимость выходного напряжения мостовой схемы от приложенного к мембране избыточного давления. <...> Основными метрологическими характеристиками датчиков давления по ГОСТ 22521–85 являются нелинейность, вариация и повторяемость <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт