Исследование температурного дрейфа и нелинейностей тензопреобразователей давления на основе керамики

температурный дрейф тензопреобразователи давления полупроводниковые чувствительные элементы кремний на сапфире выходные сигналы керамические преобразователи датчики давления

Повышение эффективности управления сетями автозаправочных станций, Высокоточный метод расчета нелинейной упругой характеристики рессорного листа постоянного профиля, ...

В. М. Стучебников, А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА И НЕЛИНЕЙНОСТЕЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ КЕРАМИКИ Аннотация. <...> Рассмотрены тензопреобразователи давления на основе керамики и полупроводникового чувствительного элемента со структурой кремний на сапфире. <...> Проведены исследования нелинейности и вариации выходного сигнала, температурного дрейфа керамических преобразователей с использованием различных видов керамики. <...> Температурная погрешность керамических тензопреобразователей оказалась существенно ниже, чем у серийно выпускаемых преобразователей давления, а точности керамических и серийно выпускаемых тензопреобразователей сравнимы. <...> The pressure transducers on ceramic basis and semi-conductor sensing elements made of heteroepitaxial silicon-on-sapphire structures are considered. <...> The investigations of non-linearity, of the variation output signal and of the temperature dependence of the ceramic pressure transducers using different kind of ceramic basis are carried out. <...> Введение С 1960-х гг. интенсивно разрабатываются микроэлектронные датчики механических величин с тензорезисторной мостовой схемой, в которых в качестве чувствительных элементов используются полупроводники. <...> В России нашли широкое распространение интегральные тензорезисторные преобразователи давления (ТП) с полупроводниковыми чувствительными элементами (ПЧЭ) на основе структур кремний на сапфире (КНС) <...> Они успешно применяются в построении комплексов высокоточных, высокостабильных, надежных датчиков механических величин для систем контроля и управления разнообразными технологическими процессами во всех отраслях промышленности [3, 6], двигателестроении [7], для измерения давления криогенных [8] и высокотемпературных [9] сред и в других областях науки и техники. <...> Нагрузочная характеристика представляет собой зависимость выходного напряжения мостовой схемы от приложенного к мембране избыточного давления. <...> Основными метрологическими характеристиками датчиков давления по ГОСТ 22521–85 являются нелинейность, вариация и повторяемость <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт