Механизм образования дефектов в монокристаллах кремния при воздействии лазерного излучения

Во многих современных технологиях обработки (модификации поверхности) материалов используется лазерное излучение (лазерное легирование, отжиг, термообработка, нанесение покрытий и т. д. ). Известно, что при воздействии внешних потоков энергии (лазерного излучения или пучков частиц) на поверхность твердых тел в них происходят структурные и морфологические перестройки. Изучение этих структурных трансформаций и результирующей модификации свойств твердых тел является одной из актуальных задач современной физики. Результаты этих исследований важны для прикладных проблем лучевой стойкости материалов и деградации оптоэлектронных приборов в процессе их эксплуатации и под действием лазерного излучения и т. д. Поэтому целью данной работы является исследование кинетики образования дислокаций при лазерном отжиге, а также моделирование термоупругих напряжений в монокристаллах кремния.

Авторы

Тэги

дефекты кремний лазерное излучение монокристаллы кремния плоские деформации температурные деформации тепловые свойства термонапряжение

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

Расчет эффективности элементов питания на основе микроканального кремния и бета-источника никель-63, Космологическое ускорение в моделях с динамическим [лямбда]-членом на многообразии Лиры, ...

Резюме по документу**

Е. Г. Зубков, А. А. Поляков МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ Аннотация. <...> Во многих современных технологиях обработки (модификации поверхности) материалов используется лазерное излучение (лазерное легирование, отжиг, термообработка, нанесение покрытий и т.д.) <...> . Известно, что при воздействии внешних потоков энергии (лазерного излучения или пучков частиц) на поверхность твердых тел в них происходят структурные и морфологические перестройки. <...> Результаты этих исследований важны для прикладных проблем лучевой стойкости материалов и деградации оптоэлектронных приборов в процессе их эксплуатации и под действием лазерного излучения и т.д. <...> Поэтому целью данной работы является исследование кинетики образования дислокаций при лазерном отжиге, а также моделирование термоупругих напряжений в монокристаллах кремния. <...> Сравнение полученных теоретических результатов проведено с экспериментальными данными по зависимости термоупругих напряжений по поверхности р- и n-кремния от диаметра кратера. <...> Плоские термонапряжения в монокристаллическом кремнии, возникающие при лазерном воздействии, получены при помощи термоупругой модели, связанной с задачей температурного распределения. <...> При моделировании рассчитывались только плоские температурные деформации для изотропного материала. <...> Исследовано образование и поведение дислокаций в монокристаллах кремния n- и p-типа при лазерном воздействии. <...> В результате сопоставления экспериментальных данных с построенной моделью были получены значения теплового потока для разных мощностей лазера. <...> Значения мощностей для двух типов кремния совпадают, следовательно, можно делать вывод о том, что примесь фосфора и бора не оказывает влияния на тепловые свойства исследуемых материалов. <...> Обнаружено, что разбег дислокаций увеличивается до определенного значения с возрастанием энергии лазерного излучения, после чего <...>

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

Механизм образования дефектов в монокристаллах кремния при воздействии лазерного излучения

Помощь:

Участники: