Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремнияАвров Д.Д.,Лебедев А.О.,Таиров Ю.М.
|
|
Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния II. Микропоры. Малоугловые границы. Дефекты упаковкиАвров Д.Д.,Лебедев А.О.,Таиров Ю.М.
|