Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремнияЛебедев А.О.,Авров Д.Д.,Таиров Ю.М.
|
|
Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния II. Микропоры. Малоугловые границы. Дефекты упаковкиЛебедев А.О.,Авров Д.Д.,Таиров Ю.М.
|