РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Мурин Д.Б.
Результатов найдено: 6
|
ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА С АРГОНОМ И ГЕЛИЕММурин Д.Б.,Ефремов А.М.,Светцов В.И.,Овцын А.А.,Пивоваренок С.А.,Шабадаров С.С.
|
|
|
ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСЯХ HCl-H2 И HCl-O2Мурин Д.Б.,Ефремов А.М.,Светцов В.И.,Пивоваренок С.А.,Годнев Е.М.
|
|
|
ВЕРОЯТНОСТИ ГЕТЕРОГЕННОЙ РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ HCl C ИНЕРТНЫМИ И МОЛЕКУЛЯРНЫМИ ГАЗАМИМурин Д.Б.,Ефремов А.М.,Светцов В.И.
|
|
|
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCl-Ar, HCl-Cl2, HCl-H2Мурин Д.Б.,ДУНАЕВ А.В.,Пивоваренок С.А.,Капинос С.П.
|
|
|
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯМурин Д.Б.,ДУНАЕВ А.В.,Пивоваренок С.А.
|
|
|
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ БИНАРНЫХ СМЕСЕЙ HCl+Ar, He, H2, O2 И Cl2Мурин Д.Б.,Ефремов А.М.
|