РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Пивоваренок С.А.
Результатов найдено: 4
|
ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА С АРГОНОМ И ГЕЛИЕМПивоваренок С.А.,Ефремов А.М.,Светцов В.И.,Мурин Д.Б.,Овцын А.А.,Шабадаров С.С.
|
|
|
ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСЯХ HCl-H2 И HCl-O2Пивоваренок С.А.,Ефремов А.М.,Светцов В.И.,Мурин Д.Б.,Годнев Е.М.
|
|
|
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCl-Ar, HCl-Cl2, HCl-H2Пивоваренок С.А.,ДУНАЕВ А.В.,Мурин Д.Б.,Капинос С.П.
|
|
|
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯПивоваренок С.А.,ДУНАЕВ А.В.,Мурин Д.Б.
|